纯金属溅射靶材由单一金属制成的高纯靶材
AgAlAuBBiCCaCoCr
CuFeHfLiMgMoNbNiSc
SiTaTiVWZnZr
合金溅射靶材由两种或多种金属制成的靶材
AlBAlCrAlCoAlCuAlDy
AlErAlGdAlMgAlCuMnAlCuMo
AlCuSiAlCuWAlMgCuAlMgSi
氧化物溅射靶材由氧和其他金属或非金属制成的靶材
AZOITOIZOAl2O3Cr2O3CuO
HfO2In2O3Fe2O3MgOMoO3Nb2O5
SiO2Ta2O5TiO2WO3V2O5ZrO2
硫化物溅射靶材由硫和其他金属或非金属制成的靶材
Sb2S3CdSCu2SCuSIn2S3PbS
MnSMoS2Ag2SSnSSnS2WS2ZnS
硒化物溅射靶材由硒和其他金属或非金属制成的靶材
Sb2Se3Bi2Se3CdSeCu2SeCIGS
In2Se3InSeMnSeMoSe2SnSe
WSe2ZnSe
硅化物溅射靶材由硅和其他金属或非金属制成的靶材
CrSiCrSi2Fe3SiMg2SiMoSi2
TaSi2TiSi2WSi2
碲化物溅射靶材由碲和其他金属或非金属制成的靶材
Sb2Te3Bi0.5Sb1.5Te3Bi2Te3CdTeCu2Te
Ge2Sb2Te5GeTeGeTe4HfTePbTeMnTe
MoTe2Ag2TeWTe2ZnTeZrTe
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